Năm 1697, chúa Nguyễn Phúc Chu cho lập phủ Bình Thuận (từ Phan Rang trở về tây) chia làm hai huyện An Phước và Hòa Đa[90]. Cũng từ đây vùng đất Chăm còn lại (Phan Rang trở về đông) đã trở thành phiên thuộc của chúa Nguyễn và mối quan hệ giữa chúa Nguyễn và chúa Chăm là mối quan hệ giữa chính quyền trung ương và địa phương[90].

Từ những năm 1700 đến 1728, các chúa Nguyễn chủ yếu tập trung binh lực mở rộng ảnh hưởng trên đất Chân Lạp. Mặc dù có nhiều giai đoạn, chính quyền Đàng Trong dồn hết binh lính ở Chân Lạp hoặc suy yếu, chính quyền Chăm Pa vẫn không hề thừa cơ nổi dậy. Rất có thể, mối quan hệ giữa giữa hai chính quyền Po Saktiraydaputih và Nguyễn Phúc Chu rất tốt đẹp và nó còn để lại di sản sau này.[65]

Đến năm 1712, chúa Nguyễn Phúc Chu đã ban hành một bản hiệp ước mới gọi là Ngũ điều Nghị định, trong đó khẳng định quyền xét xử của các chúa Chăm đối với các thần dân người Chăm và cũng quy định nghĩa vụ của các chúa Chăm đối với các chúa Nguyễn. Để giải quyết xung đột giữa người Chăm và người Việt, bản hiệp ước quy định các xung đột này sẽ do chúa Chăm tức Trấn Vương cùng với quan Cai bạ và quan Ký lục (cả hai là người Việt) phán quyết.[72][91] Chế độ tự trị này được duy trì cho đến tận năm 1832 qua các đời chúa Nguyễn, thời Tây Sơn và thời kỳ đầu triều đại nhà Nguyễn.

Khởi nghĩa Tây Sơn

Các đời chúa Chăm sau Po Saktiray Da Patih (Kế Bà Tử) không còn duy trì được mối quan hệ trực tiếp với các chúa Nguyễn và mọi công việc của Thuận Thành Trấn được tiến hành thông qua phủ Bình Thuận[90] cho đến tận cuộc nội chiến giữa Nguyễn Ánh và Tây Sơn. Từ năm 1771, khởi nghĩa Tây Sơn nổ ra tại Đàng Trong, lãnh thổ Thuận Thành Trấn trở thành một trong những bãi chiến trường. Nội bộ chính quyền Chăm chia làm nhiều phe phái, ủng hộ Tây Sơn hoặc chúa Nguyễn.

Đầu những năm 1770, khi phong trào Tây Sơn nhen nhóm, anh em Nguyễn Nhạc đã tìm đến bắt liên lạc, kết thân với Bà chúa Hỏa. Bà chúa Hỏa hay còn gọi là Bà Hỏa, nữ chúa Thị Hỏa là thủ lĩnh của người Chăm quản lĩnh một vùng đất rộng lớn mà sử sách xưa thường gọi là "nước Hỏa Xá". Địa bàn của bà chúa Hỏa trải rộng khắp khu vực miền núi ngày nay thuộc phía tây nam Phú Yên kéo dài đến Cheo- reo (Gia Lai, Kon Tum). Nguyễn Lữ, người thứ ba trong "Tây Sơn tam kiệt", là người tu theo Minh giáo (còn gọi là đạo Ma-ní), là đệ tử của bà chúa Hỏa, thờ thần lửa và dùng bùa phép để chữa bệnh, trừ tà, nên còn được gọi ông là thầy tư Lữ.[cần dẫn nguồn][92]

Một bộ phận người Chăm tại trấn Thuận Thành (nay thuộc tỉnh Bình Thuận) do Kế Pù Tá (Po Tisuntiraidapuran, Nam sử gọi là Nguyễn Văn Tá / 阮文佐) đứng đầu ủng hộ và tham gia phong trào Tây Sơn từ rất sớm thì ở một địa bàn khác là động Thạch Thành (nay thuộc huyện Sơn Hòa và Sơn Thành, tỉnh Phú Yên). Bà chúa Hỏa cũng đem toàn bộ lực lượng của mình gia nhập nghĩa quân khi anh em Tây Sơn phất cờ khởi nghĩa. Năm Qúy Tị (1773) quân Tây Sơn đã đánh chiếm được Phú Yên, Nguyễn Nhạc phục hồi danh vị Phiên Vương cho bà chúa Hỏa và giao cho bà nhiệm vụ trấn giữ động Thạch Thành.[93]

Mùa hè Giáp Ngọ (1774), chúa Nguyễn sai danh tướng Tống Phúc Hiệp đem quân từ Hòn Khói (nay thuộc Nha Trang) đánh chiếm Bình Thuận, Diên Khánh, Bình Khang. Quân Tây Sơn yếu thế phải lui về giữ Phú Yên. Tống Phúc Hiệp trực tiếp chỉ huy quân vượt đèo Tam Độc đánh thẳng vào đội quân của bà chúa Hỏa, bà chúa Hỏa đã tử trận.[93] Tháng 7 năm Ất Mùi (1775), Nguyễn Nhạc sai em là Nguyễn Huệ bất ngờ đem quân từ Quy Nhơn vào đánh úp tiêu diệt cả quân thủy và quân bộ của Tống Phúc Hiệp. Năm 1778, thành Quy Nhơn sửa xong, Nguyễn Nhạc xưng là Minh Đức Hoàng Đế, niên hiệu Thái Đức. Hai Vua Thủy Xá và Hỏa Xá được phong Vương tước, sai sứ đưa ra những trầm hương, kỳ nam, hổ phách và voi ngựa làm cống vật và nguyện giữ một lòng trung thành với Tây Sơn.

Năm 1780, Po Tisuntiraidapuran được hoàng đế Thái Đức nhà Tây Sơn giúp đăng cơ. Tuy nhiên, Po Tisuntiraidapuran liên tục phải chống đỡ các phong trào nổi dậy của người Chăm và hàng loạt cuộc công kích của chúa Nguyễn Ánh từ đất Gia Định.

Năm 1782, một người anh em cùng huyết thống của Po Tisuntiraidapuran là Cei Krei Brei gây binh biến rồi phế truất ông, khiến thời điểm này Panduranga tạm thời không có người cai trị. Vào năm 1783, Cei Krei Brei tự tuyên bố là tân vương, nhưng liền sau đó quân Tây Sơn xuống vây đánh khiến ông này thất thế và bị tống giam. Ngôi vị của Po Tisuntiraidapuran được khai phục. Cùng năm này, một quân phiệt Chăm Bà-la-môn là Po Tolripho từ Ấn Độ (?) về Panduranga lập chiến khu nhằm chống quân đồn trú Tây Sơn, nhưng chóng bị Bắc Bình vương dẹp. Po Tolripho may mắn tẩu thoát được, bèn trèo đèo vượt suối mấy ngày đường lên Cheo Reo ẩn lánh ở các buôn người Thượng.

Đến năm 1790, chúa Nguyễn Ánh được đà Thái Đức lâm thế yếu khó vươn được xuống phương Nam, bèn tiến chiếm Panduranga, phong Cei Krei Brei (Nam sử gọi là Nguyễn Văn Chiêu, nguyên tên là Môn Lai Phù Tử, Po Ci Bri, con của phiên vương trước là Thắng) làm Thuận Thành trấn Khâm sai chưởng cơ. Các quan Chăm là Nguyễn Văn Chấn, Nguyễn Văn Hào làm Khâm sai thống binh cai cơ. Nhưng ít lâu sau thì Nguyễn Văn Chiêu bị bãi chức vì chúa Nguyễn nghi ông theo Quang Trung.[72]

Năm 1793, chúa Nguyễn Ánh phái binh tiến đánh quân Tây Sơn đồn trú trên đất Panduranga. Phiên vương Thuận Thành là Po Tisuntiraidapuran (Nguyễn Văn Tá / 阮文佐) theo phe Tây Sơn bị Nguyễn Ánh đánh bại. Nguyễn Ánh sau đó (1794) cho các tướng người Chăm theo mình là Po Ladhuanpuguh (Nam sử gọi là Thôn-bá-hú hoặc Nguyễn Văn Hào / 阮文豪) làm Chánh trấn Thuận Thành, đồng thời phong Po Saong Nyung Ceng (Nam sử gọi là Nguyễn Văn Chấn / 阮文震) làm phó trấn, đặt chế độ chánh trấn và phó trấn và bỏ chế độ phiên vương.[94] Cả Po Ladhuanpuguh và Po Saong Nyung Ceng vốn là những phú nông người Chăm, không có xuất thân vương tộc.[72]

Bị chúa Nguyễn tước mất vương vị, Po Krei Brei (Nguyễn Văn Chiêu) đành đưa gia quyến bỏ sang tỉnh Tbong Khmum của Chân Lạp định cư. Lần này, người Chăm từ Việt Nam chạy sang Campuchia tị nạn rất đông.[92][95] Đoàn tị nạn gốc vương tộc này đến an trí tại Roka Po Pram, nơi vốn tập trung rất nhiều lưu dân Chăm và Mã Lai Hồi giáo. Ban sơ Po Krei Brei cũng muốn dựa vào thế lực của triều đình Kampuchea để đòi lại vương vị, nhưng tình hình xứ sở này cũng rất hỗn loạn vì những cuộc giao tranh của Xiêm và Tây Sơn rồi Nguyễn, nên rốt cuộc ông phải chôn mọi tham vọng bá quyền. Hiện chưa rõ Po Krei Brei sinh thác năm nào, ông được cộng đồng Hồi giáo Tbong Khmum và Kampong Cham suy tôn là thủy tổ của mình.

Cuộc nổi loạn ở trấn Thuận Thành

Vào năm 1796, Po Chongchan - lãnh tụ Chăm được triều Tây Sơn ủng hộ - theo quân Tây Sơn tiến công Băl Canar nhưng bị Po Saong Nyung Ceng tạm thời đẩy lui; tháng 10 cùng năm có một thủ lĩnh người Chăm Mã Lai tự xưng từng sống ở Mecca (thực ra là Kelantan) nhiều năm tên Tuan Phaow (Đồng Phù, Toàn Phù) cùng một tù trưởng khác [Tăng Mã] thừa dịp chúa Nguyễn bận công kích nhà Tây Sơn, xách động một cuộc bạo loạn nhằm khôi phục quyền tự trị hoàn toàn cho Panduranga, nhưng cũng bị Po Saong Nyung Ceng dẹp tan.[65]

Đại Nam liệt truyện chép:[96]

"Năm Bính Thìn [1796], man trưởng ở Dã Giang (thuộc tỉnh Bình Thuận) là Tăng Mã làm phản, quan quân đón đánh ở Phố Trâm phá tan được, Tăng Mã trốn chạy... Tù trưởng người Man là Đồng Phù [Tuan Phaow] quân bị tan vỡ bỏ chạy. Từ đó các man ở Thuận Thành không dám lại làm phản nữa."[96]

Đại Nam thực lục ghi chi tiết:[72]

Bính thìn, năm thứ 17 [1796], Tù trưởng Ba Phủ thuộc Thuận Thành là Toàn Phù (Tuan Phaow) tụ họp hơn 1.000 người, từ núi Đàn Linh ngầm xuống Cà Trập cướp bóc dân địa phương.

Đinh tỵ, năm thứ 18 [1797], tháng 2, Nguyễn Công Thái tiến đến Phố Châm, đánh úp phá tan giặc man Ba Phủ. Tù trưởng man là Toàn Phù vượt núi trốn chạy. Quân ta đốt trại kho vựa, bắt sống hơn 100 người man về trú ở bảo Đăng Trại... Tháng 5, người man Ba Phủ là Toàn Phù lại họp đảng hơn nghìn người đến đánh bảo Ma Đế. Thủ binh Thuận Thành chống không được, phải bỏ bảo chạy. Phó tướng quản dinh Bình Thuận là Phan Tiến Hoàng nghe tin báo đem quân thẳng tới, gặp giặc ở Cà Tán (tên đất), bắn chết mười mấy người. Giặc lui... Tháng 9, giặc Man Ba Phủ là Toàn Phù đem quân vây bảo Tà Lạp, lại ủy cho người đảng giữ núi La A để ngăn quân viện của ta. Phó tướng Phan Tiến Hoàng thống quản quân sở bộ và quan binh Thuận Thành, chia đường tiến đến La A. Hoàng cùng Quản đạo Phố Hài là Phạm Tiến Tuấn đánh mặt trước, Cai cơ Lê Văn Niệm đánh mặt sau. Giặc thua vỡ to. Quân ta thừa thắng tiến thẳng đến Thuận Thành. Bọn Cai cơ Nguyễn Văn Vĩnh ở Tà Lạp nghe tin quân viện đến, mở bảo ra đánh, Toàn Phù bèn giải vây, vượt núi chạy. Hoàng thấy xứ ấy đường núi hiểm xa, chuyển vận rất khó, lại thêm mưa lụt lam chướng, quân nhiều người ốm, bèn rút quân về, để quân Thuận Thành đóng giữ các bảo Đăng Trại, Cà Tán, dâng sớ xin đợi đến mùa đông tạnh ráo sẽ cất quân đánh dẹp.

Tháng 11, vua nước Chân Lạp là Nặc Ấn chết.[97] Con là Nặc Chăn nối ngôi... Tháng 12, sai Phó tướng Phan Tiến Hoàng đem tướng sĩ Tiền chi và Trung chi Tiền quân cùng Xiêm binh và hương binh hơn 1.600 người, tiến đánh giặc Man Ba Phủ. Khi quân đến Phố Châm thì Toàn Phù trốn xa, dư chúng ra hàng nhiều. Bèn dẫn quân về.

Về nhân vật Tuan Phaow (Đồng Phù), có ý kiến cho rằng ông ta trốn chạy sang Campuchia với tên Tuon Set Asmit và được vua Ang Eng thu dùng, cho làm tỉnh trưởng Tbong Khmum.[98] Tuan Phaow sau đó làm tới chức Tể tướng dưới triều vua Ang Chan II với tên gọi Chiêu Chùy[99] Tôn La Ca Đồng Phù (Chauvea Talaha Tuon Pha). Năm 1820, Đồng Phù bị phát hiện thân phận và bị triều đình nhà Nguyễn xử tử.[98] Tuy nhiên, xét theo Đại Nam thực lục và liệt truyện, Tuan Phaow có thể không phải là vị Tể tướng gốc Chăm tên Tôn La Ca Đồng Phù thời vua Ang Chan II. Việc xử tử Đồng Phù là do Ang Chan II nhờ triều Nguyễn bắt giúp để trị tội đại nghịch vô đạo với vua Chân Lạp.[100][101]

Đến tháng 7 năm 1799, Po Ladhuanpuguh băng hà, nhờ vào uy tín sẵn có mà Po Saong Nyung Ceng được cử làm tân vương.

Loạn Lê Văn Khôi

Ngay sau khi Minh Mạng lên ngôi (1820), ông phân bố lại hành chính, chia Bình Thuận trấn thành 2 phủ Ninh Thuận và Hàm Thuận. Minh Mạng hạn chế hơn nữa quyền lực của hoàng gia Chăm.

Năm 1822, Chánh Chưởng (Cơng Can-Po Chơn), vị vua cuối cùng của Champa rời kinh đô Bal Canar (Tịnh Mỹ - Phan Rí) lưu vong tại Campuchia[102].

Tháng 10 năm 1832, chúa Chăm cuối cùng là Po Phaok The (Nguyễn Văn Thừa (阮文承)) trả lại toàn bộ dân và đất cho vua Minh Mạng và trở thành một viên quan địa phương triều Nguyễn. Vua Minh Mạng đã xóa trấn Thuận Thành và đặt phủ Ninh Thuận vào cùng năm đó, cho Nguyễn Văn Thừa làm Quản cơ, thuộc hạ là các Chánh đội trưởng Nguyễn Văn Giảng, Nguyễn Văn Thuận và Nguyễn Văn Thanh đều cho làm Cai đội. Năm 1833, Minh Mạng định phong cho tước cho Nguyễn Văn Thừa là Diên An bá, chức Vệ úy, hàm Tòng tam phẩm. Nhưng sau đó có án nghi Thừa câu kết với Lê Văn Khôi nên thôi.[72]

Theo sách Tiễu Bình Thuận Man Phỉ Phương Luộc (1835) và bộ Đại Nam Thực Lục Chính Biên Đệ Nhị Kỷ (1860), sau khi chúa Po Phaok The thoái vị và trở thành viên quan triều Nguyễn, nhóm Lê Văn Khôi ở miền Nam bắt tay với Po Phaok The và một số quý tộc cũng như lãnh đạo tôn giáo Islam Chăm như Lá Buôn Vương, Thầy Điên. Lúc đó triều Nguyễn đang đánh Lê Văn Khôi ở miền Nam, và quân Nguyễn ở lại Ninh Thuận, Bình Thuận bị phiến quân Chăm và các bộ lạc miền núi tấn công mà chưa kịp đối phó. Có một số quý tộc thì lại theo vua Minh Mạng và không tham gia phiến quân, cộng đồng Chăm và các bộ lạc miền núi bị chia rẽ giữa hai phe: phe Lê Văn Khôi (phe chúa Chăm cũ) và phe vua Minh Mạng.

Phong trào Hồi giáo Katip Sumat

Katip Sumat hay Katip Tamat là một tu sĩ Hồi giáo (imam) sinh ở Campuchia, đã từng sang Makah (tiểu vương quốc Kelantan) du học về triết lý Hồi giáo. Katip Sumat chỉ huy một đoàn quân đa số là người Chăm và Mã Lai sinh sống ở Campuchia sang Champa để hình thành một phong trào đấu tranh chống triều đình Huế vào năm 1833. Đây có thể coi như phong trào jihad (Thánh chiến) duy nhất đến nay trong lịch sử Việt Nam. Cuộc nổi dậy của Katip Sumat gây mối đe dọa thật sự cho triều đình Huế, buộc vua Minh Mạng phải gởi một đội binh hùng mạnh hơn 1000 người và ra lệnh vũ trang những cư dân Việt thuộc phủ Bình Thuận để họ tham gia trực tiếp vào cuộc chiến chống quân nổi loạn. Phong trào Hồi Giáo của Katip Sumat đã bị dập tắt vào tháng 7 năm Tỵ lịch Chăm, tức là cuối năm 1833 hay đầu năm 1834.

Phong trào của Katip Sumat có lẽ được sự hậu thuẫn của vị Sultan Muhamad I ở Kelantan (1800-1837).[65]

Khởi nghĩa Ja Thak Wa

Ja Thak Wa của Katip Thak Wa, một người Chăm Bani làng Văn Lâm, Phan Rang từng giữ nhiều chức vụ quan trọng trong triều đình Panduranga-Champa thời trước. Với tổ chức quy mô hơn, Ja Thak Wa xây dựng một chiến khu tại vùng cao nguyên Đồng Nai Thượng và Kauthara (Nha Trang-Phú Yên) vào năm 1834.

Ja Thak Wa sau đó triệu tập một hội đồng để chỉ định Po War Palei (tiếng Việt gọi là La Bôn Vương), dân tộc Raglai, thuộc làng Cadang, lên làm quốc vương (Po Patrai) của Panduranga. Po War Palei là anh rể của Po Dhar Kaok (tên Việt là Nguyễn Văn Nguyên), tức là cựu phó vương Panduranga dưới thời vua Po Phaok The (1828-1832). Sau đó, Ja Thak Wa đề nghị tấn phong một người gốc Churu mang chức là Cei Aia Harei (hoàng tử mặt trời) làm hoàng tử kế vị và Ja Yok Ai gốc người Chăm làm Panraong Sa-ai (đại quan quân sự).

Quân của Ja Thak Wa làm chủ tình hình vào đầu năm Ất Vị (1835), kiểm soát toàn bộ lãnh thổ Panduranga cũ gồm huyện An Phước, Hòa Đa, Tuy Tịnh và phủ Bình Thuận.

Trước sự đàn áp của nhà Nguyễn, nổi dậy Ja Thak Wa tại Panduranga kéo dài cho đến tháng thứ 4 năm 1835 thì kết thúc sau khi cả Po War Palei và Ja Thak Wa đều tử trận gần thôn Hữu Đức, Văn Lâm, Phan Rang.

Thời kỳ cuối của trấn Thuận Thành

Khi vua Minh Mạng đưa quân tiêu diệt phiến quân Chăm và các bộc lạc miền núi, Thị Khăn Oa (Nai Khan Wa), công nữ Chăm hợp tác với vua Minh Mạng kêu gọi tất cả phiến quân còn lại đầu hàng, trở về phía triều đình. Công nữ đã thuyết phục thành công. Vua Minh Mạng đồng ý duy trì hoàng gia Chăm (gia đình chúa Chăm). Các hoàng tử Chăm đời đời nhận chức Tri huyện Huyện Hòa Đa Thổ (tức Quận Phan Lý Chàm thời chính quyền Sài Gòn) dưới triều Nguyễn. Theo các bộ sắc phong mà các hoàng tử Chăm được vua Nguyễn các đời gửi (bản chữ Hán), mối quan hệ giữa các ông tri huyện huyện Hòa Đa Thổ và chính quyền Huế diễn ra tốt đẹp đến tận năm 1945.

Năm 1945, hoàng tử Dụng Gạch (em trai công nữ Nguyễn Thị Thềm) đang là chức hương bộ và được gọi là Bộ Gạch, làm việc tại palei Kalon tức ấp Trinh Hòa (nay là xã Phan Sơn, Phan Lâm, huyện Bắc Bình và Khu Bảo tồn Thiên nhiên Kalon Sông Mao) nơi mà Bà Nai Khan Wa cùng các bộ lạc miền núi khai hoang. Hoàng tử Dụng Gạch đã hưởng ứng lời kêu gọi cách mạng tháng Tám, bảo cho bà con Chăm và các dân tộc miền núi theo cách mạng. Sau cách mạng thành công, Hoàng tử Dụng Gạch giữ chức Phó chủ tịch Ủy ban Hành chính Lâm thời Huyện Hòa Đa phụ trách miền núi.

Lịch sử miền đất Tây Nguyên ngày nay sau khi tách khỏi lịch sử Chăm Pa vào năm 1471 còn chưa được các học giả quan tâm nghiên cứu. Mối quan hệ lịch sử giữa Chăm Pa (trước thời Lê), Nam Bàn (thời Lê) và hai nước Thủy Xá, Hóa Xá (thời Nguyễn) còn chưa được chứng minh. Tuy nhiên theo Cương mục[103] thì vua Lê Thánh Tông phong cho dòng dõi chúa Chăm Pa làm Nam Bàn quốc vương và đất đai Nam Bàn chính là đất phụ thuộc Chăm Pa xưa (trước thời Lê) và vào thời Nguyễn đấy chính là đất của hai nước Thủy Xá và Hỏa Xá (tức Tây Nguyên ngày nay). Sau khi Chăm Pa bị sáp nhập hoàn toàn vào Việt Nam thì hai nước Thủy Xá và Hỏa Xá tức miền đất Tây Nguyên ngày nay vẫn giữ được độc lập nhưng trở thành phiên thuộc của nhà Nguyễn[104] cho đến thời Pháp thuộc[105]. Còn một số Bon, Palei phía Nam Lâm Đồng thì triều Nguyễn đặt Phủ Di Dinh Thổ (tức Phủ Di Linh Thượng), đưa viên quan Chăm cai trị cho đến năm 1945 nên mối quan hệ giữa hoàng gia Chăm và các bộ lạc miền núi rất mật thiết như việc hoàng tử Dụng Gạch được các bộ lạc miền núi tin tưởng.